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洁净室无尘布实验测试
发布时间:2020-09-14 09:39浏览次数:

实验一:擦拭去除率

在本实验中,我们验证了用无尘布擦拭时的除尘率。通过在有或没有酒精的情况下进行比较来比较效果。对于粉尘,我们使用大小为30μm的Ishimatsuko,它成为掉落并附着在其上的异物,并使用擦拭测试装置,给出在恒定负载下擦拭时的数值。[实验目的]确认有无酒精擦拭器的除尘率[使用设备]擦拭测试设备,粗颗粒计数器RACCAR[测量环境]温度27.7℃/湿度52%[实验方法] 首先,预定的温度和湿度条件用空调/加湿器进行调节,使湿度为45%或更高,温度为23°C±7°C。

①如下图所示设置擦拭测试设备。 

 -将可移动部分设置为以50毫米/秒的速度从左端移动到右端。 

 -将三个要测量的晶片放置在A,B和D处。    赛车演示室自动擦拭测试设备

②将300或更多Ishimatsuko洒在清理好的晶圆上作为指导,并使用粗粒子计数器RACCAR进行测量。

③将一块擦布包裹在擦拭测试设备的重物上,并用IPA酒精润湿。  将其安装在开始擦拭的位置的可移动部件框架中。

④将②的晶圆放在位置C,并同时操作擦拭测试设备。

⑤擦拭后立即收集晶片C,并用RACCAR进行测量。

⑥在有或没有酒精(干燥状态)下,使用每个无尘布执行此操作。 from从擦拭前后的值中获取去除率。 *测量颗粒形状为30μm或以上

无尘擦拭布

实验二:运行期间产生的灰尘数量

在该实验中,验证了移动新的无尘布时会产生多少灰尘。至于如何移动它,我握住无尘布并从手腕上摇动它。它是新无尘布最初有多少灰尘的度量。 [实验目的]验证新型无尘布自身产生的粉尘 [使用的设备]产生粉尘的测试设备,微粒计数器KC-31 [测量环境]温度28.8°C /湿度50%

[实验方法]

首先,用空调/加湿器调节温度和湿度条件(湿度45%或更高,温度23°C±7°C)。

①清洁灰尘产生测试设备的内部,并用粒子计数器检查设备运行过程中产生的灰尘数量为0。

②戴上干净的手套,将一根滚筒从手臂垂到尖端。

③换上新的无尘布,并将其放入灰尘产生测试装置中。

④开始测量粒子计数器,等待1分钟,不要动手。

⑤之后,每秒将无尘布摇动60次,持续1分钟。⑥之后,请等待2分钟,不要动手。    实验  实验根据⑦⑤⑥总共3分钟测得的值,将粉尘产生测试装置的风量和颗粒计数器的吸气量转换为实际产生的粉尘数。

*每张纸上产生的灰尘数,而不是区域数。*测量颗粒形状为0.3μm或更大

实验三:切割过程中产生的灰尘数量

在该实验中,我们验证了在使用无尘布时发生撕裂或磨损等损坏时产生的灰尘。用剪刀剪开,以防撕裂。它是衡量如果您继续使用损坏或撕裂的物品会有多大风险的度量。[实验目的]无尘布破裂时的风险验证[使用的设备]灰尘产生测试装置,细颗粒颗粒计数器KC-31[测量环境]温度28.4°C /湿度46%    实验[实验方法]首先,用空调/加湿器调节温度和湿度条件(湿度45%或更高,温度23°C±7°C)。

①清洁灰尘产生测试设备的内部,并用粒子计数器检查设备运行过程中产生的灰尘数量为0。

②戴上干净的手套,将一根滚筒从手臂垂到尖端。

③一只手握住一个距离剪刀边缘7厘米的标记的剪刀,另一只手握住一个新的无尘布,将两只手放在粉尘产生测试装置中。

④开始测量粒子计数器,等待1分钟,不要动手。

⑤之后,以刮刀上的标记为基准,每5秒钟将无尘布切割12次,持续1分钟。

⑥之后,请等待2分钟,不要动手。根据⑦⑤⑥总共3分钟测得的值  ,将粉尘产生测试装置的风量和颗粒计数器的吸气量转换为实际产生的粉尘数。

*测量晶粒形状为0.3μm以上。*结果是按张而不是按区域。

实验四:吸水率

在本实验中,计算每张纸巾的无尘布供应的水量。该数值是针对每张纸计算的,而不是针对供水效率或面积计算的,这表明了织物的性能。简单地说,一个无尘布吸收多少水是吸水的准则。[实验目的]验证一把无尘布周围的吸水率[使用的设备] ASPRO紧凑型电子天平OH-42B[测量环境]温度28.7℃/湿度51%[实验方法]首先,用空调/加湿器调节温度和湿度条件(湿度45%或更高,温度23°C±7°C)。

①取出一个带镊子的新无尘布,并用电子天平测量。

②将无尘布浸入一碗水中1分钟。

③取出雨刷,用剪刀将其悬挂2分钟。

④之后,用电子天平称量雨刮器的重量。

⑤使用公式“④-①”计算供水量。

*每张纸的供水量,而不是周围区域。

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